1、特種氣體間應設置排風系統，并應按負壓設計；
2、特種氣體間應采用防火隔墻相互隔離；
3、 當生產廠房內的自燃性特種氣體的儲存量超過57m3時，應設置獨立的特種氣體站；
4、大宗硅烷系統氣體設備應布置在獨立的開敞式建筑，不得布置在地下室。開敞式建筑應帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面，且墻體與墻體之間、墻體與屋頂結構之間應設置自然通風的空間。硅烷容器與四周障礙物的最小距離小于障礙物高度的2倍時，大宗硅烷系統應設置機械通風；
5、硅烷站內大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤之間的距離小于9m時，應設置 2h以上的防火隔斷；
6、 硅烷氣瓶柜內的硅烷鋼瓶應固定在鋼架上，兩個鋼瓶之間應采用鋼板隔離，鋼板厚度應大于或等于6mm；
7、 劇毒性特種氣體供應間應配置專用容器或堵漏工具、排風裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態下的排風處理裝置；
8、 劇毒性特種氣體供應間應設置雙鎖安全門、防盜窗和防止人員入侵的技術防范設施。
